1、潔凈室不同氣體管道敷設應根據設計要求，無明確要求吋，輸送干燥氣體的管道應水平安裝；輸送潮濕氣體的管道安裝時應有不小于相關規定的坡度，這個坡度叫冷凝水收集器。

2、潔凈室氣體管道的連接采用焊接。管道的工藝焊接應根據《現場設備、工業管道焊接工程施工及驗收規范》 (GB 50236-1998)的要求，對I、11級以及內壁清潔度要求嚴格的單面焊焊縫打底。潔凈室管道打底后的焊縫應及時進行填充蓋面操作。如果是不銹鋼焊接則采用氬弧焊打底，焊縫內側應充氬氣保護，并在點固焊過程中同樣進行管內充氬氣保護措施。

3、潔凈室氣體管道與設備、閥門及其他附件應采用法蘭連接或螺紋聯接。而且為保證潔凈室管道連接的嚴密性和管內氣體的潔凈性，法蘭墊片和螺紋接頭的填料必須采用聚W氟乙烯板和薄膜，禁止使用鉛油麻絲等填料。

4、為了避免潔凈室受到污染，通過室內的氣體管道的法蘭墊片或螺紋填料，還要將外露部分清潔干凈，避免積塵。

5、潔凈室氣體管道采用噴砂除鎊或酸洗、純化的碳素鋼管。管道的一般施工方法為：下料—編號一預組裝—噴砂等處理—正式安裝—充氮氣密封。通常為保證安裝后管內不再氧化生銹，應縮短工期，必須采取集中安裝方式，并在48小時內分段組合安裝，充人壓力不小于0.2MPa的氮氣保護。

6、潔凈室有接地要求的氣體管道，導線截面應符合設計要求，焊點必須牢固、可靠，保證法蘭間能夠良好的接觸。保證整個管路系統形成完整的導電回路，消除法蘭間墊片對系統的絕緣作用。